详细介绍
钽溅射靶材、钽钨合金靶材
规格:直径(50-400)mm *厚度(3-28)mm
牌号: RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W)
纯度 : >=99.95%(最大99.99%)
成份说明:
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Ta |
99.95 %最少 |
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O |
0.0120 %最大 |
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C |
0.0040 %最大 |
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N |
0.0040 %最大 |
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H |
0.0010 %最大 |
|
S |
0.0001 %最大 |
|
Al |
0.0005 %最大 |
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Ca |
0.0005 %最大 |
|
Cd |
0.0005 %最大 |
|
Cl |
0.0005 %最大 |
|
Co |
0.0005 %最大 |
|
Cr |
0.0005 %最大 |
|
Cu |
0.0005 %最大 |
|
Fe |
0.0005 %最大 |
|
Hf |
0.0005 %最大 |
|
K |
0.0001 %最大 |
|
Li |
0.0001 %最大 |
|
Mg |
0.0005 %最大 |
|
Mn |
0.0005 %最大 |
|
Mo |
0.0030 %最大 |
|
Na |
0.0001 %最大 |
|
Nb |
0.0350 %最大 |
|
Ni |
0.0005 %最大 |
|
Pb |
0.0005 %最大 |
|
Si |
0.0005 %最大 |
|
Sn |
0.0005 %最大 |
|
Ti |
0.0005 %最大 |
|
Th |
0.0050 %最大 |
|
V |
0.0005 %最大 |
|
W |
0.0050 %最大 |
|
Zn |
0.0005 %最大 |
|
Zr |
0.0005 %最大 |
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Y |
0.0005 %最大 |
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U |
0.0050 %最大 |
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其它 |
0.0005 %最大 |
再结晶 : 95%最少
晶粒度 : 最小40μm
表面粗糙度: Ra 0.4 最大
平整度: 0.1mm or 0.10% 最大.
公差: 直径公差+/- 0.254
如有需要,可以联系我司销售:
北京索通钨钼科技有限公司
Beijing Sunstone Tungsten Molybdenum Co.,LTD
Tel:86-10-58466676
Fax:86-10-57228751






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