详细介绍
钽溅射靶材、钽钨合金靶材
规格:直径(50-400)mm *厚度(3-28)mm
牌号: RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W)
纯度 : >=99.95%(最大99.99%)
成份说明:
Ta |
99.95 %最少 |
O |
0.0120 %最大 |
C |
0.0040 %最大 |
N |
0.0040 %最大 |
H |
0.0010 %最大 |
S |
0.0001 %最大 |
Al |
0.0005 %最大 |
Ca |
0.0005 %最大 |
Cd |
0.0005 %最大 |
Cl |
0.0005 %最大 |
Co |
0.0005 %最大 |
Cr |
0.0005 %最大 |
Cu |
0.0005 %最大 |
Fe |
0.0005 %最大 |
Hf |
0.0005 %最大 |
K |
0.0001 %最大 |
Li |
0.0001 %最大 |
Mg |
0.0005 %最大 |
Mn |
0.0005 %最大 |
Mo |
0.0030 %最大 |
Na |
0.0001 %最大 |
Nb |
0.0350 %最大 |
Ni |
0.0005 %最大 |
Pb |
0.0005 %最大 |
Si |
0.0005 %最大 |
Sn |
0.0005 %最大 |
Ti |
0.0005 %最大 |
Th |
0.0050 %最大 |
V |
0.0005 %最大 |
W |
0.0050 %最大 |
Zn |
0.0005 %最大 |
Zr |
0.0005 %最大 |
Y |
0.0005 %最大 |
U |
0.0050 %最大 |
其它 |
0.0005 %最大 |
再结晶 : 95%最少
晶粒度 : 最小40μm
表面粗糙度: Ra 0.4 最大
平整度: 0.1mm or 0.10% 最大.
公差: 直径公差+/- 0.254
如有需要,可以联系我司销售:
北京索通钨钼科技有限公司
Beijing Sunstone Tungsten Molybdenum Co.,LTD
Tel:86-10-58466676
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